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This ensures that the thermal output is easily controllable and highly efficient.
Die Wärmeleistung ist so gut steuerbar und führt zu einem hohen Wirkungsgrad.
Die Abtragungsergebnisse sind über Intensität, Frequenz, Dauer, Länge, Breite und Polung der Entladungen steuerbar.
Für die Mikrotechnik sind Elektronenstrahlverfahren wegen ihrer extrem hohen Energiedichten auf sehr kleinem Wirkquerschnitt und der guten Steuerbarkeit des Elektronenstrahls geeignet.