无尘室

无尘室 是指悬浮在空气中的颗粒物的数量达到最小化的房间。无尘室主要用于与半导体相关行业，另外也用于光学、医学技术和航天部门。

空气的质量是不间断地进行测量的，以确保颗粒物浓度不超过目标极限值。由于无尘室的环境必须保持不变，所以房间内的压力、温度和湿度也是受监控的。已经开发出无尘室的专用服装和工具。它们对室内表面的磨损最小。

无尘室采用混合稀释或混合流，或低紊流位移流的方式进行通风换气。在第一种情况下，混合过滤后的空气被引入室内。这确保了不断稀释颗粒物浓度。

在低紊流位移流的情况下，空气流垂直或水平地通过房间。引入的空气已经被气溶胶过滤器净化过，经由地板或者相对的墙壁再次被提取。目的是使用连续的低紊流空气流除掉室内的颗粒物。

近义词

颗粒物浓度(无尘室)

空气的质量

Reinraum

Reinräume sind Räume, in denen die Anzahl von Schwebepartikeln in der Luft möglichst gering ist. Reinräume kommen vor allem im Bereich der Halbleitertechnik, aber auch in Bereichen der Optik, Medizin- sowie Luft- und Raumfahrttechnik zum Einsatz.

Um sicherzustellen, dass die Partikelkonzentration den angestrebten Grenzwert nicht übersteigt, wird kontinuierlich die Luftgüte gemessen. Da stets gleiche Bedingungen herrschen sollten, werden die Parameter Druck, Temperatur und Luftfeuchtigkeit ebenfalls überwacht. Für die Arbeiten in Reinräumen gibt es spezielle Kleidung und spezielles Werkzeug. Beide haben abriebfeste Oberflächen, von denen sich möglichst wenige Partikel ablösen können.

Die Belüftung von Reinräumen erfolgt mittels der turbulenten Verdünnungs- oder Mischströmung bzw. der turbulenzarmen Verdrängungsströmung. Bei der ersten Möglichkeit wird gefilterte Luft turbulent in den Raum eingebracht. Dies sorgt für eine stetige Verdünnung der Partikelkonzentration.

Bei turbulenzarmen Verdrängungsströmen fließt Luft vertikal oder horizontal durch den Arbeitsraum. Die zuvor mit Schwebestofffiltern gereinigte zuströmende Luft wird entweder durch den Boden oder durch die gegenüberliegende Wand wieder abgesaugt. Ziel ist es, mit einem turbulenzarmen stetigen Luftstrom die im Arbeitsraum befindlichen Schmutzpartikel zu entfernen.

Cleanroom

Cleanrooms are rooms in which the number of particles suspended in the air is minimised. Cleanrooms are primarily used when working with semiconductors, but also in optics, medical technology and the aerospace sector.

The air quality is measured on an ongoing basis to ensure that the particle concentration does not exceed the target limit value. Since conditions in a cleanroom should remain constant, the pressure, temperature and Humidity in the room are also monitored. Special clothing and tools have been developed for working in cleanrooms. They have abrasion-resistant surfaces that minimise the shedding of particles.

Cleanrooms are ventilated using a turbulent dilution or mixed flow, or a low-turbulence displacement flow. In the first case, turbulent filtered air is introduced into the room. This ensures continuous dilution of the particle concentration.

In the case of low-turbulence displacement, air flows through the room vertically or horizontally. The incoming air, which has been cleaned using aerosol filters, is extracted again via the floor or the opposite wall. The aim is to use a continuous, low-turbulence air stream to remove particles from the room.

Sala limpia

Las salas limpias son salas en las cuales se minimiza el número de partículas suspendidas en el aire. Las salas limpias se usan principalmente cuando se trabaja con microconductores, pero también en óptica, tecnología médica y en el sector aeroespacial.

La calidad del aire se mide de manera continua para asegurar que la concentración de partículas no exceda el valor límite objetivo. Ya que las condiciones en una sala limpia deben permanecer constantes, también se monitorea la presión, la temperatura y la humedad de la sala. Se han desarrollado ropas y herramientas especiales para trabajar en salas limpias. Tienen superficies resistentes a la abrasión que minimizan el desprendimiento de partículas.

Las salas limpias se ventilan usando una dilución turbulenta o flujo mixto, o un flujo de desplazamiento de baja turbulencia. En el primer caso, el aire turbulento filtrado es introducido a la habitación. Esto asegura una dilución continua de la concentración de partículas.

En el caso del desplazamiento de baja turbulencia, el aire fluye a través de la sala vertical y horizontalmente. El aire entrante, el cual ha sido limpiado usando filtros de aerosol, es extraído de nuevo a través del piso o el muro opuesto. El objetivo es usar una corriente baja de aire en turbulencia continua para remover las partículas de la sala.